濟南中烏利用HPHT法和CVD法實(shí)現大尺寸金剛石單晶的生長(cháng)。金剛石被稱(chēng)為“終極半導體”材料,主要采取高溫高壓(HPHT)法和化學(xué)氣相沉積(CVD)法生長(cháng),目前材料尺寸是限制金剛石及其應用的瓶頸之一。
濟南中烏新材料有限公司通過(guò)改進(jìn)六面頂壓機和優(yōu)化HPHT生長(cháng)工藝,實(shí)現了最大粒徑11.48mm大尺寸金剛石單晶的生長(cháng)。
HPHT法大尺寸金剛石單晶濟南中烏新材料有限公司通過(guò)承擔山東省自然科學(xué)基金項目重大基礎研究課題,于2018年引進(jìn)金剛石MPCVD設備,通過(guò)技術(shù)攻關(guān)利用馬賽克拼接法實(shí)現了12.2mm大尺寸金剛石單晶的生長(cháng),填補了省內空白,為金剛石半導體的研發(fā)提供了基礎保證。
CVD法大尺寸金剛石單晶

